SY-DT03 低温等离子体处理仪

2）产品特点：

 RF射频晶体管等离子发生源，全自动阻抗匹配。

 柜式结构，真空泵内置，有效节约占地面积。

 万向底轮设计，方便设备移动。

 高强度石英石玻璃腔体，易清洁、耐腐蚀。

 置物方式多样化，可平放、可悬挂。

 外置环形电极，有效避免对腔体内的污染。

 真彩色全中文界面触摸屏，画面清晰，操作方便。

 PLC自动控制，功能齐全，所有运行参数可自行设置并监控，主要功能包括：手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等）、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。

3）应用范围：